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SUPERSCAN IV系列是高端工業(yè)級兩軸激光掃描振鏡系統(tǒng),包含10mm、15mm、20mm和30mm多種輸入孔徑型號,以及專為太陽能電池加工的SOLAR版本。全系列采用數(shù)字PWM控制技術(shù),兼容XY2-100和SL2-100協(xié)議,提供200 rad/s的高速掃描和±15μm的高精度表現(xiàn)。配備水冷和空氣冷卻選項,可支持2kW至6kW高功率激光應(yīng)用,具有優(yōu)異的動態(tài)響應(yīng)和長期穩(wěn)定性。廣泛應(yīng)用于激光打標(biāo)、切割、焊接、微加工、太陽能電池加工、增材制造和遠程焊接等領(lǐng)域,滿足各種精密工業(yè)加工需求。
我們一站式供應(yīng)各種類型的激光掃描振鏡,激光打標(biāo)頭,打標(biāo)掃描頭,激光振鏡掃描頭,打標(biāo)機用掃描頭,振鏡打標(biāo)頭,激光打標(biāo)鏡頭,可提供選型、技術(shù)指導(dǎo)、安裝培訓(xùn)、個性定制等全生命周期、全流程服務(wù),歡迎聯(lián)系我們!

動態(tài)、快速和穩(wěn)定
通過20位SL2-100協(xié)議或16位XY2-100協(xié)議控制
得益于數(shù)字PWM輸出級大幅降低了功耗和熱能產(chǎn)生
快速動態(tài)響應(yīng)和高速度促進生產(chǎn)效率
多種調(diào)試模式和鏡片鍍膜,適用于各種應(yīng)用
輸入孔徑: 10 mm
優(yōu)勢
SUPERSCAN IV-10模組化數(shù)字控制技術(shù)提供了極強的動態(tài)響應(yīng)和速度,在打標(biāo)以及非??焖俚蔷珳?zhǔn)的成型、切割和鉆孔等應(yīng)用中真正發(fā)揮作用。堅固耐用的水冷外殼設(shè)計保證了即使在頻繁改變光束方向和高跳轉(zhuǎn)的情況下,也能保持穩(wěn)定、低漂移的運行。
可配置選項
透鏡、保護窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長、功率密度、焦距和工作幅面。這些多軸加工應(yīng)用得以獲得優(yōu)質(zhì)質(zhì)量和加工效率。我們也樂于幫助您選擇適合您應(yīng)用的最優(yōu)化配置。
典型應(yīng)用
SUPERSCAN IV-10的應(yīng)用范圍包括打碼、FPC結(jié)構(gòu)切割以及銅箔的切割鉆孔。由于采用了數(shù)字控制和強大的PWM輸出級,速度和動態(tài)響應(yīng)得到了保證。當(dāng)與我們的相機適配器和MVC組件相結(jié)合時,SUPERSCAN IV-10就成為了理想的過程精密監(jiān)控工具。
創(chuàng)新與品質(zhì)
在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)水準(zhǔn)是我們的首要目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實驗室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測試的。通過我們的全球支持網(wǎng)絡(luò),能夠為客戶提供良好的維護與快速支持服務(wù)。
通用規(guī)格
| 電壓 | 30 V 或 48 V |
| 電流 | 2 A RMS, 最大 5 A |
| 紋波/噪音 | 最大 200 mVpp, @20 MHz帶寬 |
| 接口信號數(shù)字 | XY2-100-增強協(xié)議, SL2-100協(xié)議 |
| 環(huán)境溫度 | +15°C 至 +35°C |
| 存儲溫度 | -10°C 至 +60°C |
| 濕度 | ≤ 80 % 無結(jié)露 |
| 外殼防護等級 | 64 |
| 典型偏轉(zhuǎn)角 | ± 0.393 rad |
| 分辨率 XY2-100-E 16-Bit | 12 μrad |
| 分辨率 SL2-100 20-Bit | 0.76 μrad |
| 重復(fù)定位精度 (RMS) | < 2.0 μrad |
| 位置噪聲 (RMS) | < 4.5 μrad |
| 最大增益漂移1 | 15 ppm/K |
| 最大位置漂移1 | 10 μrad/K |
| 8小時長期漂移,無水冷 | < 60 μrad |
| 8小時長期漂移,有水冷 | < 40 μrad |
水冷控制
| 冷卻水 | 加添加劑的潔凈自來水 |
| 溫度 | 22°C – 28°C |
| 最大水壓 | < 3 bar |
| 流量 | 2 l/min、4 l/min、6 l/min |
| 壓降 | 0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar |
機械參數(shù)
| 掃描振鏡 | SUPERSCAN IV |
| 輸入孔徑 [mm] | 10 |
| 光束位移 [mm] | 12.5 (SI) |
| 重量 (無透鏡) [kg] | 約 3.2 |
| 尺寸 (L x W x H) [mm] | 170.0 x 125.0 x 117.5 |
反射鏡類型
| 波長 | 材質(zhì) |
| 355 nm | SI |
| 532 nm | SI |
| 1,064 nm | SI |
動態(tài)參數(shù)
| 型號 | SUPERSCAN IV-10-SI | |
| 調(diào)校模式 | VC | M |
| 加工速度 [rad/s] | 50 @ 30 V 80 @ 48 V | 30 @ 30 V 30 @ 48 V |
| 定位速度 [rad/s] | 50 @ 30 V 80 @ 48 V | 30 @ 30 V 30 @ 48 V |
| 追跡誤差 [ms] | 0.12 | 0.10 |
| 1%全行程階躍響應(yīng)時間 [ms] | 0.33 | 0.41 |
調(diào)校
| 調(diào)校模式 | 描述 |
| 向量調(diào)校 (VC) | 針對常見應(yīng)用進行的優(yōu)化調(diào)校,注重加工速度 |
| 微加工調(diào)校 (M) | 針對具有銳利拐角和最小追跡誤差的高精度光束偏轉(zhuǎn)進行的優(yōu)化調(diào)校 |
詳情資料:SUPERSCAN-IV-10

動態(tài)性能佳,速度快,多功能
通過20位SL2-100協(xié)議或16位XY2-100協(xié)議控制
得益于數(shù)字PWM輸出級,極大的降低了功耗和熱量
快速動態(tài)響應(yīng)和高速度促進生產(chǎn)效率
針對不同應(yīng)用,提供相應(yīng)的調(diào)校方式,鏡片材質(zhì)和鍍膜涂層
輸入孔徑: 15 mm
優(yōu)勢
SUPERSCAN IV-15 的模組化數(shù)字控制技術(shù)提供了極高的動態(tài)性能和高達75rad/s的速度,從而滿足極快速度極高精度掃描應(yīng)用的要求。堅固的水冷外殼設(shè)計,搭配石英反射鏡,能夠承受激光功率高達2 kW。
可選配置<<>
透鏡、保護窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長、功率密度、焦距和工作幅面。這些多種加工應(yīng)用得以獲得優(yōu)質(zhì)質(zhì)量和加工效率。我們樂于為您提供適合您應(yīng)用的SUPERSCAN IV定制化配置。我們也樂于幫助您選擇適合您應(yīng)用的最優(yōu)化配置。
典型應(yīng)用
SUPERSCAN IV-15 特別適合晶圓工成型,增材制造中的填沖應(yīng)用,擺動焊接以及電子元件的標(biāo)刻。數(shù)字控制和強大的PWM輸出級技術(shù)保證了振鏡的速度和動態(tài)響應(yīng)。配合我們的相機適配器和機器視覺組件,SUPERSCAN IV-15也是精確加工監(jiān)控的理想工具。
創(chuàng)新與品質(zhì)
在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)是我們的首要目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實驗室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測試的。通過我們的全球支持網(wǎng)絡(luò),能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務(wù)。
通用規(guī)格
| 電壓 | 30V或48V |
| 電流 | 2A RMS,最大5A |
| 紋波/噪音 | 最大200 mVpp, @20 MHz帶寬 |
| 環(huán)境溫度 | +15℃至+35℃ |
| 儲存溫度 | -10℃至+60℃ |
| 濕度 | ≤80%無結(jié)霜 |
| 外殼防護等級 | 64 |
| 接口信號數(shù)字 | XY2-100-增強協(xié)議, SL2-100協(xié)議 |
| 典型偏轉(zhuǎn)角 | ± 0.393 rad |
| 分辨率 XY2-100-E 16-Bit | 12 μrad |
| 分辨率 SL2-100 20-Bit | 0.76 μrad |
| 重復(fù)定位精度 (RMS) | < 2.0 μrad |
| 位置噪聲 (RMS) | < 4.5 μrad |
| 最大增益漂移1 | 15 ppm/K |
| 最大位置漂移1 | 10 μrad/K |
| 8小時長期漂移,無水冷 | < 60 μrad |
| 8小時長期漂移,有水冷 | < 40 μrad |
反射鏡類型
| 波長 | 材質(zhì) |
| 355 nm | QU |
| 532 nm | QU, SI |
| 1,030 nm | SC |
| 1,064 nm | QU, SI, SC |
| 1,060 nm ~ 1,080 nm(高功率鍍膜) | QU |
| 10,600 nm | SI, SC |
機械參數(shù)
| 型號 | SUPERSCAN IV |
| 輸入孔徑 [mm] | 15 |
| 光束位移 [mm] | 18.1 (QU, SI) / 18.0 (SC) |
| 重量(含透鏡)[kg] | 約 3.2 |
| 尺寸 (L×W×H) [mm] | 170.0 × 125.0 × 117.5 |
調(diào)校模式
| 調(diào)校 | 描述 |
| 快速進給調(diào)校 (VC) | 適用于常見應(yīng)用,注重加工速度 |
| 清洗調(diào)校 (C) | 適用于長焦高速掃描 |
| 填充調(diào)校 (H) | 適用于高精度填充和光束偏轉(zhuǎn) |
動態(tài)參數(shù)
| 掃描振鏡 | SUPERSCAN IV-15-QU | SUPERSCAN IV-15-SI | SUPERSCAN IV-15-SC | ||
| 調(diào)校 | VC | C | VC | VC | H |
| 加工速度 [rad/s] | 45 @ 30 V 50 @ 48 V | - 200 @ 48 V | 50 @ 30 V 65 @ 48 V | 55 @ 30 V 75 @ 48 V | 30 @ 30 V 30 @ 48 V |
| 定位速度 [rad/s] | 45 @ 30 V 50 @ 48 V | - 200 @ 48 V | 50 @ 30 V 65 @ 48 V | 55 @ 30 V 75 @ 48 V | 30 @ 30 V 30 @ 48 V |
| 追跡誤差 [ms] | 0.19 | 0.30 | 0.16 | 0.14 | 0.123 |
| 1%全行程階躍響應(yīng)時間 [ms] | 0.49 | 0.65 | 0.43 | 0.37 | 0.47 |
詳情資料:SUPERSCAN-IV-15

數(shù)字控制,高動態(tài)性能,多用途
通過20位SL2-100協(xié)議或16位XY2-100協(xié)議控制
得益于數(shù)字PWM輸出級,極大的降低了功耗和熱量
最大化生產(chǎn)效率的高動態(tài)響應(yīng)和高速度,特別適合增材制造
針對不同應(yīng)用的多種反射鏡基材和鍍膜
輸入孔徑: 20 mm
優(yōu)勢
SUPERSCAN IV-20的模組化數(shù)字控制技術(shù)提供了極高的動態(tài)響應(yīng)和速度,從而滿足極快速度極高精度掃描應(yīng)用的要求。堅固的水冷外殼設(shè)計,搭配石英反射鏡,能夠承受激光功率高達3 kW。
可配置選項
透鏡、保護窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長、功率密度、焦距和工作幅面。這些參數(shù)加工應(yīng)用得以獲得優(yōu)質(zhì)質(zhì)量和加工效率。我們樂于為您提供最適合您應(yīng)用的SUPERSCAN IV定制化配置。我們也樂于幫助您選擇適合您應(yīng)用的最優(yōu)化配置。
典型應(yīng)用
SUPERSCAN IV-20振鏡不僅特別適合微焊接和振動焊接,也適合電子元件的標(biāo)刻。數(shù)字控制和強大的PWM輸出級技術(shù)保證了振鏡的速度和動態(tài)響應(yīng)。配合我們的相機適配器和機器視覺組件,SUPERSCAN IV-20是精確加工監(jiān)控的理想工具,也是增材制造應(yīng)用的理想選擇。
創(chuàng)新與品質(zhì)
在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)水準(zhǔn)是我們的首要目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實驗室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測試的。通過我們的全球支持網(wǎng)絡(luò),能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務(wù)。
通用規(guī)格
| 電壓 | ±30V 或 ±48V |
| 電流 | 2A RMS, 最大5A |
| 紋波/噪音 | 最大200 mVpp, @20 MHz帶寬 |
| 環(huán)境溫度 | +15°C至+35°C |
| 存儲溫度 | -10 °C至+60 °C |
| 濕度 | ≤80 %無結(jié)霜 |
| IP防護等級 | 64 |
| 接口信號 | XY2-100-增強協(xié)議 SL2-100協(xié)議 |
| 典型偏轉(zhuǎn)角 | ± 0.393 rad |
| 分辨率 XY2-100-E 16-Bit | 12 urad |
| 分辨率 SL2-100 20-Bit | 0.76 urad |
| 重復(fù)定位精度 (RMS) | ≤2.0 urad |
| 定位誤差 (RMS) | ≤3.2 urad |
| 最大增益漂移 | 15 ppm/K |
| 最大位置漂移 | 10 urad/K |
| 8小時長周期穩(wěn)定性,無水冷 | ≤60 urad |
| 8小時長周期穩(wěn)定性,有水冷 | ≤40 urad |
機械參數(shù)
| 型號 | SUPERSCAN IV-20 QU / SI / SC |
| 輸入孔徑 (mm) | 20 |
| 光束位移 (mm) | 26.0 |
| 重量(無透鏡) (kg) | 約5.5 |
| 尺寸(L x W x H) (mm) | 203.0 x 159.0 x 150.0 / 160.51 |
反射鏡類型
| 波長 | 材質(zhì) |
| 355 nm | QU |
| 532 nm | QU, SC |
| 1,064 nm | QU, SC |
| 10,600 nm | Si, SC |
調(diào)校
| 調(diào)校 | 描述 |
| 向量調(diào)校 (VC) | 針對常見應(yīng)用進行優(yōu)化調(diào)校,注意高加工速度;其它調(diào)??蛇x |
動態(tài)參數(shù)
| 掃描振鏡 | SUPERSCAN IV-20 QU | SUPERSCAN IV-20 SC | SUPERSCAN IV-20 SI |
| 調(diào)校 | VC | VC | VC |
| 加工速度 (rad/s) | 45 @ 30 V 50 @ 48 V | 50 @ 30 V 75 @ 48 V | 45 @ 30 V 60 @ 48 V |
| 定位速度 (rad/s) | 45 @ 30 V 50 @ 48 V | 50 @ 30 V 75 @ 48 V | 45 @ 30 V 60 @ 48 V |
| 追跡誤差 (ms) | 0,28 | 0,20 | 0,25 |
| 1%全行程階躍響應(yīng)時間 (ms) | 0,70 | 0,50 | 0,62 |
水冷控制
| 冷卻水 | 加添加劑的潔凈自來水 |
| 溫度 | 22°C ~ 28°C |
| 最大水壓 | ≤3 bar |
| 流量 | 2 l/min、4 l/min、6 l/min |
| 壓降 | 0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar |
詳情資料:SUPERSCAN-IV-20

快速、準(zhǔn)確的太陽能電池激光加工
高達66 m/s的高速掃描,確保高產(chǎn)能每小時>3,600個晶圓片
高精度<±15 μm確保高光電轉(zhuǎn)換效率
配有優(yōu)化的高動能反射鏡,確保最佳性能
使用f = 330 mm透鏡
優(yōu)勢
SUPERSCAN IV SOLAR基于模型的數(shù)字控制提供了極高的速度,最高可達200 rad/s。這真正實現(xiàn)了特別快速和精準(zhǔn)的應(yīng)用。帶有覆蓋超波長涂層的特殊鍍面基材即使在大的加工區(qū)域內(nèi),也能實現(xiàn)小的光斑直徑。
可選配置
透鏡,保護窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長、功率密度、焦距和工作幅面。這些參數(shù)加工應(yīng)用得以獲得最優(yōu)化質(zhì)量和加工效率。我們樂于為您提供適合您的應(yīng)用的SUPERSCAN IV定制化配置。我們也樂于幫助您選擇適合您應(yīng)用的最優(yōu)化配置。
典型應(yīng)用
特別是,太陽能行業(yè)的晶圓結(jié)構(gòu)是一個自然的應(yīng)用。由于采用了數(shù)字控制和強大的PWM輸出級,速度和動態(tài)響應(yīng)得到了保證。當(dāng)結(jié)合我們的相機適配器和MVC組件,SUPERSCAN IV SOLAR成為理想的具有過程監(jiān)控的精密工具。
創(chuàng)新與品質(zhì)
在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)是我們的首要目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實驗室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測試的。通過我們的全球支持網(wǎng)絡(luò),能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務(wù)。
通用規(guī)格
| 電壓 | +48V |
| 電壓 | 2A RMS, 最大5A |
| 紋波/噪音 | 最大200 mVpp, @20 MHz帶寬 |
| 環(huán)境溫度 | +15°C至+35°C |
| 儲存溫度 | -10°C至+60°C |
| 濕度 | ±80 %無結(jié)霜 |
| 外殼防護等級 | 64 |
| 接口信號 | XY2-100-增強協(xié)議 SL2-100協(xié)議 |
| 典型偏轉(zhuǎn)角 | ± 0.393 rad |
| 分辨率 XY2-100-E 16-Bit | 12 urad |
| 分辨率 SL2-100 20-Bit | 0.76 urad |
| 重復(fù)定位精度 (RMS) | ≤2.0 urad |
| 定位誤差 (RMS) | ≤4.5 urad |
| 最大增益漂移 | 15 ppm/K |
| 最大位置漂移 | 10 urad/K |
| 8小時長周期穩(wěn)定性,無水冷 | ≤60 urad |
| 8小時長周期穩(wěn)定性,有水冷 | ≤40 urad |
機械參數(shù)
| 型號 | SUPERSCAN IV-15 | SUPERSCAN IV-20 |
| 輸入孔徑 [mm] | 15 | 20 |
| 光束位移 [mm] | 18.1 (QU), 18.0 (SC) | 26.0 (QU, SC) |
| 重量 [無透鏡] [kg] | 約3.2 | 約5.5 |
| 尺寸 (L x W x H) [mm] | 170.0 x 125.0 x 117.5 | 203.0 x 159.0 x 150.0 |
反射鏡類型
| 波長 | 材質(zhì) 15 mm | 材質(zhì) 20 mm |
| 343 nm | SC | SC |
| 355 nm | QU, SC | SC |
| 515 nm | SC | SC |
| 532 nm | QU, SC | SC |
| 1,030 nm, 1,070 nm | SC | SC |
| 1,064 nm | QU, SC | SC |
| 1,060–1,080 nm | QU | SC |
調(diào)校
| 調(diào)校 | 描述 |
| 高線性精度調(diào)校 (PL) | 針對長焦在高速打標(biāo)和超高精度光束偏轉(zhuǎn)時的優(yōu)化調(diào)校 |
| 晶圓調(diào)校 (W) | 針對長焦在最高速度和高精度光束偏轉(zhuǎn)時的優(yōu)化調(diào)校 |
動態(tài)參數(shù)
| 型號 | SUPERSCAN IV-15 QU | SUPERSCAN IV-15 SC | SUPERSCAN IV-20 5C | ||
| 調(diào)校 | W | PL | W | W | |
| 加工速度 [rad/s] | 200 | 110 | 200 | 160 | 200 |
| 定位速度 [rad/s] | 200 | 110 | 200 | 160 | 200 |
| 追跡誤差 [ms] | 0.30 | 0.30 | 0.20 | 400 | |
| 1%全行程階躍響應(yīng)時間 [ms] | 0.65 | 0.80 | 0.50 | 1.00 | |
水冷控制
| 規(guī)格 | 冷卻水 |
| 溫度 | 22°C ~ 28°C |
| 最大水壓 | <3 bar |
| 流量 | 2 l/min、4 l/min、6 l/min |
| 壓降 | 0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar |
詳情資料:SUPERSCAN-IV-SOLAR

數(shù)字控制,高動態(tài)性能,多用途
通過20位SL2-100協(xié)議或16位XY2-100協(xié)議控制
得益于數(shù)字PWM輸出級,極大地降低了功耗和熱量
快速動態(tài)響應(yīng)和高速度得以最大化生產(chǎn)效率,特別適合MOTF加工
針對不同應(yīng)用的多種反射鏡基底和鍍膜
輸入孔徑:Φ 30 mm
優(yōu)勢
SUPERSCAN IV振鏡提供了極快的動態(tài)響應(yīng)和速度,與我們I模組配合特別適合MOTF應(yīng)用(飛行加工與標(biāo)刻)。堅固的水冷外殼設(shè)計,搭配可選配的空氣冷卻組件,使之能夠承受高達6kW的激光功率。
可選配置<<>
透鏡、保護窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長、功率密度、焦距和工作幅面。電子控制系統(tǒng)也支持額外的控制參數(shù)設(shè)置(調(diào)校選項)。我們樂于為您提供最適合您應(yīng)用的SUPERSCAN IV優(yōu)化配置。
典型應(yīng)用
SUPERSCAN IV是RAYLASE針對極高速度和快速動態(tài)響應(yīng)要求的材料激光加工應(yīng)用推出的理想解決方案。SUPERSCAN IV特別適合劃線、鉆孔、包裝行業(yè)中的塑料和紙板切割以及電子元件標(biāo)刻。數(shù)字控制和強大的PWM輸出級技術(shù)保證了振鏡的速度和動態(tài)響應(yīng)。結(jié)合我們的高功率相機適配器,安裝在機器人和光門系統(tǒng)上的SUPERSCAN IV搭配可選加工監(jiān)測組件,是理想的遠程焊接解決方案。
創(chuàng)新與品質(zhì)
在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)是我們的首要目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實驗室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測試的。通過我們的全球支持網(wǎng)絡(luò),能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務(wù)。
通用規(guī)格
| 電壓 | 30 V 或 48 V |
| 電流 | 2 A RMS, 最大 5 A |
| 電流 | 最大 200 mVpp, @20 MHz帶寬 |
| 環(huán)境溫度 | +15°C 至 +35°C |
| 儲存溫度 | -10°C 至 +60°C |
| 濕度 | ≤ 80 % 無結(jié)露 |
| 外殼IP防護等級 | 64 |
| 接口信號 | XY2-100 增強協(xié)議, SL2-100協(xié)議 |
| 典型偏轉(zhuǎn)角 | ± 0.393 rad |
| 分辨率 XY2-100-E 16-Bit | 12 μrad |
| 分辨率 SL2-100 20-Bit | 0.76 μrad |
| 重復(fù)定位精度 (RMS) | < 2.0 μrad |
| 定位噪聲 (RMS) | < 3.2 μrad |
| 最大增益漂移 | 15 ppm/K |
| 最大位置漂移1 | 10 μrad/K |
| 8小時長期穩(wěn)定性,無水冷 | < 60 μrad |
| 8小時長期穩(wěn)定性,有水冷 | < 40 μrad |
機械參數(shù)
| 型號 | SUPERSCAN IV-30 |
| 輸入孔徑 [mm] | 30 |
| 光束位移 [mm] | 36.0 (SI, SC), 35.4 (QU) |
| 重量(無透鏡) [kg] | 約 5.5 |
| 不銹鋼外殼 [kg] | 約 12.0 |
| 尺寸 (L x W x H) [mm] | 203.0 x 159.0 x 150.0 |
反射鏡類型
| 波長 | 材質(zhì) |
| 420 nm – 480 nm | QU |
| 900 nm – 1,100 nm + AL | QU, SC |
| 1,064 nm | SI, SC, QU |
| 1,020 nm – 1,040 nm (高功率鍍膜 > 3 kW) | QU |
| 1,060 nm – 1,080 nm (高功率鍍膜 > 3 kW) | QU |
| 10,600 nm | SI, SC |
調(diào)校
| 調(diào)校 | 描述 |
| 快速向量調(diào)校 (VC) | 針對常見應(yīng)用進行的優(yōu)化調(diào)校,注重加工速度 |
| 快速向量調(diào)校 (FV) | 結(jié)合高動態(tài)性能和高速的優(yōu)化調(diào)校 |
動態(tài)參數(shù)
| 型號 | SUPERSCAN IV-30-QU | SUPERSCAN IV-30-SI | SUPERSCAN IV-30-SC | |||||
| 調(diào)校 | 向量 | 向量 | 向量 | 快速向量 | ||||
| 加工速度 [rad/s] | 30 @ 30 V | 50 @ 48 V | 35 @ 30 V | 55 @ 48 V | 40 @ 30 V | 65 @ 48 V | 30 @ 30 V | 50 @ 48 V |
| 定位速度 [rad/s] | 30 @ 30 V | 50 @ 48 V | 35 @ 30 V | 55 @ 48 V | 40 @ 30 V | 65 @ 48 V | 30 @ 30 V | 50 @ 48 V |
| 追跡誤差 [ms] | 0.48 | 0.43 | 0.30 | 0.24 | ||||
| 1%全行程階躍響應(yīng)時間 | 1.2 | 1.0 | 0.8 | 0.65 | ||||
空氣冷卻
| 壓縮空氣 | 潔凈空氣,去水去油 |
| 流量 | 50 – 100 l/min |
| 壓降 | 1.0 bar – 1.5 bar |
水冷控制
| 冷卻水 | 加添加劑的潔凈自來水 |
| 溫度 | 22°C – 28°C |
| 最大水壓 | < 3 bar |
| 流量 | 2 l/min、4 l/min、6 l/min |
| 壓降 | 0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar |
詳情資料:SUPERSCAN-IV-30
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